La nouvelle génération de FFM
Le système Final Focus Metrology (FFM) d'HENSOLDT contribue à la production de circuits intégrés semi-conducteurs, qui sont les éléments fondamentaux de tout appareil électronique moderne. Dans cet article, nous explorons le rôle clé d'HENSOLDT dans la fabrication de cette technologie innovante.
Un champion caché dans le portefeuille de HENSOLDT
L'optronique et les systèmes optiques sont la pierre angulaire des activités de HENSOLDT. En tant que tel, nous sommes un fournisseur de confiance de solutions de détection avancées pour le renseignement, la surveillance et la reconnaissance (ISR) utilisées par l'armée, le gouvernement et les organisations civiles pour soutenir une variété de missions qui nécessitent la détection de menaces potentielles.
Mais outre ces capteurs importants, un fait moins connu est que HENSOLDT Optronics fournit également une solution optronique industrielle et est un fournisseur leader sur le marché des solutions de métrologie des faisceaux pour le contrôle de la production des systèmes de photolithographie des semi-conducteurs. Un véritable champion (caché) dans notre vaste portefeuille !
Le développement du système Final Focus Metrology (FFM) pour la métrologie des faisceaux entre en fait dans sa quatrième génération de développement, et bien qu'il s'agisse d'un domaine de niche au sein du vaste portefeuille de HENSOLDT, l'entreprise est en mesure de tirer parti d'un large éventail d'expériences pour l'appliquer à cette application industrielle exigeante.
Si l'on considère les familles de produits d'HENSOLDT, l'entreprise s'occupe d'une très large gamme de longueurs d'onde, et comme elles sont utilisées dans l'ensemble de la gamme de produits, cette expertise peut être adaptée à d'autres besoins.
L'héritage et les connaissances de HENSOLDT en matière de conception opto-mécanique - y compris une combinaison d'optiques de haute précision et de concepts de montage très précis et stables - sont également à l'origine de cette application. Il s'agit donc d'une réussite qui montre comment la vaste expérience de HENSOLDT en matière de solutions optroniques l'a conduit à se diversifier et à devenir le fournisseur privilégié de l'un des leaders mondiaux de la fabrication de systèmes de photolithographie pour semi-conducteurs.
Qu'est-ce qu'un dispositif semi-conducteur et quelle est la place du FFM ?
Les dispositifs à semi-conducteurs sont un élément clé de nombreux appareils électroniques, et tout ce qui est numérisé dépend d'une variation de ces dispositifs pour assurer la circulation. Ces dernières années, il a été largement rapporté qu'une augmentation exponentielle de la demande d'appareils numériques a entraîné une pénurie de cette technologie des semi-conducteurs, mais alors que la demande a manifestement augmenté, des investissements sont toujours réalisés pour la faire progresser afin de s'assurer qu'elle réponde aux défis futurs.
Les tendances en matière de technologie des semi-conducteurs comprennent une réduction de la taille, du poids et de la puissance (SWaP) des appareils, qui sont déjà faibles, ainsi qu'une accélération et une durabilité accrues. Le client de HENSOLDT est un développeur de premier plan dans le domaine de la technologie des semi-conducteurs, et plus particulièrement des systèmes de lithographie à ultraviolet extrême (EUV) qui utilisent la lumière pour imprimer des motifs sur les plaquettes de silicium semi-conducteur qui constituent le matériau de base de tout dispositif à semi-conducteur.
Dans le système de lithographie EUV, la FFM joue un rôle clé dans la source lumineuse qui émet la lumière EUV. La fonction du FFM dans la source lumineuse est de fournir au client les paramètres critiques du faisceau et des informations en temps réel sur la position du laser d'entraînement. L'ensemble d'outils FFM est donc essentiel pour contrôler la création d'un type particulier de rayonnement nécessaire au processus de production lithographique de la dernière génération de microprocesseurs.
Production de nouvelle génération
Dans sa quatrième génération, actuellement en cours de développement, des changements fondamentaux ont été apportés en raison de la nécessité d'élargir les capacités de détection.
"Aujourd'hui, le FFM se trouve également en partie dans la trajectoire du faisceau de haute puissance du système du client, ce qui pose ses propres problèmes. Outre les optiques de faible puissance nécessaires pour conditionner la lumière transmise pour la métrologie, des optiques de forte puissance sont maintenant incorporées pour échantillonner une petite fraction de la lumière hautement énergétique émise par la source laser.
Arthur Fried, chef de projet pour les solutions commerciales industrielles chez HENSOLDT Optronics
Au total, plusieurs capteurs de front d'onde et modules de détection de position sont prévus pour le système. L'ensemble du système doit être intrinsèquement stable sur le plan thermique, et un très large éventail de spécifications doit être respecté. Le FFM de quatrième génération est actuellement en phase de conception préliminaire, la phase d'agencement optique ayant été franchie, ce qui constitue une étape importante du développement.
HENSOLDT prévoit de développer le premier prototype d'ici le début du deuxième trimestre 2023, et en général, le développement prendra environ 2,5 ans.
Afin de répondre aux exigences de ce programme, HENSOLDT a procédé en 2020 à une révision de la fabrication en salle blanche à Oberkochen, en Allemagne, ce qui lui a permis non seulement de répondre aux normes de qualité exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs, mais aussi de doubler la production dans cette installation.
La demande est forte, et comme les semi-conducteurs sont des composants essentiels de nombreux appareils électroniques, on cherche constamment à les rendre plus petits, plus efficaces et plus puissants. Cela crée des défis dans le processus de conception et de fabrication auxquels HENSOLDT est habitué à répondre pour l'ensemble de sa clientèle.
Ainsi, si le développement du FFM est très exigeant, les exigences élevées en matière de production et de fabrication ne sont pas nouvelles pour HENSOLDT, qui est bien préparée à répondre aux besoins de cette industrie florissante.