HENSOLDT liefert Metrologiegeräte für die Halbleiterindustrie
300. Final-Focus-Metrologiegerät ausgeliefert
Oberkochen, 28. Oktober 2022 - Der Sensorik-Lösungsanbieter HENSOLDT hat das 300. hochpräzise Messgerät der Final-Focus-Metrology (FFM) für die Chipindustrie ausgeliefert. Seit 2012 werden diese Kontrollsysteme bei HENSOLDT Optronics in Oberkochen produziert und kontinuierlich weiterentwickelt. Das 300. Gerät ist ein Meilenstein im Hinblick auf die Rolle von HENSOLDT im zivilen Markt.
FFM ist ein hochpräzises Messgerät im Wellenlängenbereich von zehn µm. Mit Hilfe von Hochgeschwindigkeits-Positionssensoren, -Energiesensoren und speziell entwickelten -Wellenfrontsensoren werden leistungsrelevante Prozessparameter eines Hochenergielasers sowie Form und Position von ca. 30 µm großen Zinntropfen in einer Vakuumkammer bestimmt. Anhand der vom FFM ermittelten Daten wird ein Regelkreis geschlossen und die Leistung und Genauigkeit eines Laserstrahls, der die Zinntröpfchen jeweils zweimal treffen muss, um das ultraviolette (EUV) Licht zu erzeugen, optimiert und damit die Effizienz der Lichterzeugung entscheidend beeinflusst. Der FFM fungiert als zentrale optoelektronische Steuereinheit, 50.000 Mal pro Sekunde. Ohne EUV-Licht wäre die Produktion der heute leistungsfähigsten Computerchips nicht möglich.
"HENSOLDT Industrial Commercial and Space Solutions verfügt über hervorragende Fähigkeiten in der Infrarottechnik. Wir arbeiten tagtäglich mit der Wärmebildtechnik für Raumfahrtanwendungen, die eine wesentliche Grundlage für die Entwicklung von FFM ist. Deshalb konnten wir FFM schnell und erfolgreich entwickeln", sagt Andreas Hülle, Leiter des Bereichs Optronics & Land Solutions und Geschäftsführer von HENSOLDT Optronics. "FFM trägt maßgeblich zu unserem erfolgreichen zivilen Geschäft bei."
Derzeit wird eine EUV-Lichtleistung von ca. 400-600 W angestrebt. Dies soll in Zukunft mit der neu gestarteten 1µm-Technologieentwicklung bei HENSOLDT erreicht werden. Das aktuelle Produkt "FFM S3+ Phase 2" ist die neueste Generation des optoelektronischen Steuergeräts in der Serienproduktion. Die Lichtleistung konnte nochmals deutlich gesteigert werden. Die Entwicklung der vierten Generation ist in Arbeit.
Über HENSOLDT
HENSOLDT ist ein führendes Unternehmen der europäischen Verteidigungsindustrie mit globaler Reichweite. Das Unternehmen mit Sitz in Taufkirchen bei München entwickelt komplette Sensorlösungen für Verteidigungs- und Sicherheitsanwendungen. Als Technologieführer treibt HENSOLDT die Entwicklung von Verteidigungselektronik und Optronik voran und baut sein Portfolio mit innovativen Ansätzen in den Bereichen Datenmanagement, Robotik und Cybersicherheit kontinuierlich aus. Mit mehr als 6.400 Mitarbeitern erzielte HENSOLDT im Jahr 2021 einen Umsatz von 1,5 Milliarden Euro. HENSOLDT ist an der Frankfurter Wertpapierbörse notiert.
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