HENSOLDT fournit des équipements de métrologie pour l'industrie des semi-conducteurs
Livraison de la 300e unité Final-Focus-Metrology
Oberkochen/Allemagne, 28 octobre 2022 - Le fournisseur de solutions de capteurs HENSOLDT a livré le 300e appareil de mesure de haute précision Final-Focus-Metrology (FFM) pour l'industrie des puces. Depuis 2012, ces systèmes de contrôle sont produits chez HENSOLDT Optronics à Oberkochen et font l'objet d'un développement continu. La 300e unité représente une étape importante en ce qui concerne le rôle de HENSOLDT sur le marché civil.
Le FFM est un appareil de mesure de haute précision dans la gamme de longueurs d'onde de dix µm. Des capteurs de position à grande vitesse, des capteurs d'énergie et des capteurs de front d'onde spécialement développés permettent de déterminer les paramètres de processus critiques d'un laser à haute énergie, ainsi que la forme et la position de gouttelettes d'étain d'environ 30 µm dans une chambre à vide. Sur la base des données déterminées par le FFM, une boucle de contrôle est fermée et les performances et la précision du faisceau laser, qui doit frapper les gouttelettes d'étain deux fois chacune pour produire la lumière ultraviolette (EUV), sont optimisées, ce qui influe de manière décisive sur l'efficacité de la production de lumière. Le FFM joue le rôle d'unité de contrôle optoélectronique clé, 50 000 fois par seconde. Sans la lumière EUV, la production des puces informatiques les plus puissantes d'aujourd'hui ne serait pas possible.
"HENSOLDT Industrial Commercial and Space Solutions dispose d'excellentes capacités en matière de technologie infrarouge. Nous travaillons tous les jours avec la technologie d'imagerie thermique pour les applications spatiales, ce qui constitue une base importante pour le développement de la FFM. C'est pourquoi nous avons pu développer le FFM rapidement et avec succès", déclare Andreas Hülle, responsable de la division Optronique et solutions terrestres et directeur général de HENSOLDT Optronics. "Le FFM contribue de manière significative à la réussite de nos activités civiles.
L'objectif actuel est une puissance lumineuse EUV d'environ 400-600 W. Cet objectif devrait être atteint à l'avenir grâce au nouveau développement de la technologie 1µm chez HENSOLDT. Le produit actuel "FFM S3+ Phase 2" est la dernière génération de l'unité de contrôle optoélectronique produite en série. Le rendement lumineux a encore été considérablement augmenté. Le développement de la quatrième génération est actuellement en cours.
À propos de HENSOLDT
HENSOLDT est une entreprise leader dans l'industrie européenne de la défense avec une portée mondiale. Basée à Taufkirchen, près de Munich, la société développe des solutions complètes de capteurs pour les applications de défense et de sécurité. En tant que leader technologique, HENSOLDT stimule le développement de l'électronique et de l'optronique de défense et élargit continuellement son portefeuille en s'appuyant sur des approches innovantes en matière de gestion des données, de robotique et de cybersécurité. Avec plus de 6 400 employés, HENSOLDT a réalisé un chiffre d'affaires de 1,5 milliard d'euros en 2021. HENSOLDT est cotée à la bourse de Francfort.
Contact presse
Alexander Ogger
Tél : +49 (0) 7364.9557-984